據(jù)報道，我國集成電路核心裝備國產(chǎn)化獲重大進展。中芯北京廠使用國產(chǎn)設備加工的12寸正式產(chǎn)品晶圓加工突破一千萬片次，標志著集成電路國產(chǎn)設備在市場化大生產(chǎn)中得到充分驗證，國產(chǎn)設備技術(shù)和市場競爭力邁上了一個新臺階。正是由于工藝制造的高精度和復雜度，芯片生產(chǎn)需要機械、電子、軟件、控制、材料等多個學科的配合。集成電路生產(chǎn)線上刻蝕機、氧化機、薄膜、光刻、離子注入等設備，一直都由歐美日少數(shù)公司掌握。但從2008年至今，一些國產(chǎn)材料和大型裝備正在逐漸進入這條全國進的集成電路生產(chǎn)線。972-J美國沃泰斯VAL-TEX潤滑脂972-J

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